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NLi-5001AL2紫外线灯销量如何

更新时间:2025-10-05      点击次数:3

产品化无NOx产生的UV Lamp『智能准分子灯』作为臭氧发生动力(灯+电源)模块.臭氧存在与大气中,起到净化大气作用。大气中的氧气和太阳光中的紫外线反应或者雷的放电现象,自然生成。阳光充裕的海岸或森林,存在程度、制作出清爽的空气。臭氧的氧原子[O]3个结合后产物,化学式是[O3]。臭氧的氧原子比氧气原子多出1个的[O3]状态、余下的氧原子[O]给其它物质,引发返回稳定状态的氧分子现象。利用自然界发生的此性质,积极制作臭氧,进行脱臭,除菌,杀菌。i线步进式光刻机NSR-2205i12,用于半导体器件制造。使用ORC制作所高压汞灯,功率2KW,型号:NLi-2011AL。NLi-5001AL2紫外线灯销量如何

于2005年开始,使用尼康Nikon i-line步进式光刻机,型号:NSR-SF140,分辨率≤280nm。这是一种具有高吞吐量和极低拥有成本的扫描场i线步进器。

客户可以将NSR-SF140用于大规模生产下一代存储器和微处理器的非关键层。NSR-SF140可提高生产率并提高镜头性能。光源和透镜热管理得到了改进,在典型的生产应用中(即剂量=200mJ/cm2,300mm晶片上的76次曝光)。

光刻设备中光源为紫外线I线,波长为365nm,功率为7.5KW,对应型号为NLi-7500AL2,是日本ORC生产。

光源制作工厂给出寿命时间1500Hr,照度保证时间1500Hr的承诺。

使用步进式光刻机型号:NSR-SF140,NSR-SF150,NSR-SF155; 半导体回路形成用光源紫外线灯高效节能,超高压汞灯照亮你的工业世界。

超高圧水銀Lampは均一・平行光源として豊富な実績のあるマルチライトシリーズの基本構成はそのままに波長230nm~450nmのDeepUV領域に適化した光源ユニットです。リソグラフィー用途はもちろん、表面改質光源、各種光化学反応評価光源としても応用頂けます。光源:250W 超高圧UVランプ,露光エリア:φ135mm,波長領域:230nm~450nm,初期照度:16mW/cm2以上,照度均一度:±5%以内,本体外形寸法(mm):224(W)×521(D)×417(H),電源外形寸法(mm):180(W)×300(D)×360(H).

曝光系统重要部件之一是紫外光源。常见光源分为:可见光:g线:436nm紫外光(UV),i线:365nm深紫外光(DUV),KrF 准分子激光:248 nm, ArF 准分子激光:193 nm极紫外光(EUV),10 ~ 15 nm对光源系统的要求a.有适当的波长。波长越短,可曝光的特征尺寸就越小;[波长越短,就表示光刻的刀锋越锋利,刻蚀对于精度控制要求越高。]b.有足够的能量。能量越大,曝光时间就越短;c.曝光能量必须均匀地分布在曝光区。[一般采用光的均匀度或者叫不均匀度、光的平行度等概念来衡量光是否均匀分布]常用的紫外光光源是高压弧光灯(高压汞灯),高压汞灯有许多尖锐的光谱线,经过滤光后使用其中的g 线(436 nm)或i 线(365 nm)。对于波长更短的深紫外光光源,可以使用准分子激光。例如KrF 准分子激光(248 nm)、ArF 准分子激光(193 nm)和F2准分子激光(157 nm)等。曝光系统的功能主要有:平滑衍射效应、实现均匀照明、滤光和冷光处理、实现强光照明和光强调节等。i线步进式光刻机NSR-2005i10用于半导体器件制造。使用ORC制作所高压汞灯,功率2KW,型号:NLi-2001A-1。

ORC制作所生产超高压汞灯,英文:super high pressure mercury lamp,点灯时,汞蒸气压力为100~10000KPa,主要发射波长在365nm,395nm,405nm,436nm,累计光量可达数千kJ/mol(52.3kcal/mol)的汞蒸气弧光灯。短弧超高压汞灯是一种装有一对钍钨电极的球形石英玻壳放电灯。玻壳内充少量启动氩气和定量的汞,极间距离0.2~8mm,功率1,000~350,000W,工作时形成“电极稳定型”电弧, 一般采用垂直点灯,强制风冷。短弧超高压汞灯的有效寿命为750~3000h, 。 短弧超高压汞灯是辐射极强的长波紫外光源应用于集成电路光刻制版工艺。紫外线之光,半导体未来。YUMEX紫外线灯13KW

以紫外线之力,突破半导体工业的极限。NLi-5001AL2紫外线灯销量如何

制造厂家:ORCMANUFACTURINGCO.,LTD产品名称:超高压汞灯(Super-hightpressuremercurylamp)型号:ONL-12001适用设备:FX-66S主要波长分布:365nm/405nm/436nm曝光设备功率:12KW灯管结构:由灯座,阴阳极,石英球体,稀有气体,液体汞等要素构成发光原理:灯管在高温,高压,多种特殊气体的环境下,电子和汞原子相互碰撞,发出多种波长的紫外线光。用途:液晶显示面板制作工厂,TFTArrayPhoto黄光部门曝光设备的光源.交货周期:30天NLi-5001AL2紫外线灯销量如何

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